| 標題: | 氮化鎵薄膜磊晶在圖案化基板上 Epitaxy of GaN Film on Patterned Substrate |
| 作者: | 吳佩瑜 吳耀銓 Wu, Pei-Yu Wu, YewChung-Sermon 材料科學與工程學系所 |
| 關鍵字: | 氮化鎵;圖案化藍寶石基板;發光二極體;磊晶;有機金屬化學氣相沉積;氮化鋁;碳化矽基板;GaN;patterned sapphire substrate;LED;epitaxy;MOCVD;AlN;SiC;light-emitting diode |
| 公開日期: | 2017 |
| URI: | http://etd.lib.nctu.edu.tw/cdrfb3/record/nctu/#GT070151605 http://hdl.handle.net/11536/142344 |
| Appears in Collections: | Thesis |
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