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| Reduced Junction Leakage by Hot Phosphorus Ion Implantation of NiGe-Contacted Germanium n(+)/p Shallow Junction | 3 |
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| Reduced Junction Leakage by Hot Phosphorus Ion Implantation of NiGe-Contacted Germanium n(+)/p Shallow Junction | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 2 | 1 |
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