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| Observation of Extreme-Ultraviolet-Irradiation-Induced Damages on High-Dielectric-Constant Dielectrics | 116 |
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| Observation of Extreme-Ultraviolet-Irradiation-Induced Damages on High-Dielectric-Constant Dielectrics | 0 | 0 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 |
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