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| Thermal Stability and Performance of NbSiTaTiZr High-Entropy Alloy Barrier for Copper Metallization | 114 |
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| Thermal Stability and Performance of NbSiTaTiZr High-Entropy Alloy Barrier for Copper Metallization | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 2 | 1 |
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