完整後設資料紀錄
DC 欄位 | 值 | 語言 |
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dc.contributor.author | 冉曉雯 | zh_TW |
dc.contributor.author | 孟心飛 | zh_TW |
dc.contributor.author | 鄭宏志 | zh_TW |
dc.contributor.author | 莊明諺 | zh_TW |
dc.contributor.author | 林洪正 | zh_TW |
dc.contributor.author | 鍾龍江 | zh_TW |
dc.contributor.author | 周家瑋 | zh_TW |
dc.date.accessioned | 2019-04-11T05:51:24Z | - |
dc.date.available | 2019-04-11T05:51:24Z | - |
dc.date.issued | 2017-03-01 | en_US |
dc.identifier.govdoc | G01N027/12 | en_US |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11536/151330 | - |
dc.description.abstract | 一種垂直式感測器包含一基板;一底部電極;以及至少一可穿透電極組結構。每一可穿透電極組結構包含:感測層及可穿透電極層。可穿透電極層包含複數個孔洞用以供待測氣體穿入,一部分可穿透電極層與感測層交疊,且可穿透電極層包含:一介電層,形成一柱狀結構;一圖案化電極層設置於介電層上;及一感測材料設置於柱狀結構的表面上。利用多層可穿透電極組結構,使待測氣體能夠在各感測層之間自由移動,並與感測層發生反應,並藉由量測反應產生的電性變化達到準確感測目的。上述感測器的製造方法亦於此處被提出。 | zh_TW |
dc.language.iso | zh_TW | en_US |
dc.title | 垂直式感測器及其製造方法 | zh_TW |
dc.type | Patents | en_US |
dc.citation.patentcountry | TWN | en_US |
dc.citation.patentnumber | 201708813 | en_US |
顯示於類別: | 專利資料 |