垂直式感測器及其製造方法

Abstract

一種垂直式感測器包含一基板；一底部電極；以及至少一可穿透電極組結構。每一可穿透電極組結構包含：感測層及可穿透電極層。可穿透電極層包含複數個孔洞用以供待測氣體穿入，一部分可穿透電極層與感測層交疊，且可穿透電極層包含：一介電層，形成一柱狀結構；一圖案化電極層設置於介電層上；及一感測材料設置於柱狀結構的表面上。利用多層可穿透電極組結構，使待測氣體能夠在各感測層之間自由移動，並與感測層發生反應，並藉由量測反應產生的電性變化達到準確感測目的。上述感測器的製造方法亦於此處被提出。