線路結構及其製備方法

Abstract

一種線路結構及其製備方法。所述線路結構包括基板與形成在基板溝渠內的銅導線，其中銅導線是由數個晶粒兩兩連接而成。所述銅導線之表面面積的20%以上所含的晶粒均滿足每一晶粒的長度與線寬比在5以上，因此可使銅導線具有較低的電阻率以及良好的抗電遷移的特性。