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dc.contributor.author孟心飛zh_TW
dc.contributor.author冉曉雯zh_TW
dc.contributor.author陳兆軒zh_TW
dc.contributor.author張宇帆zh_TW
dc.date.accessioned2019-04-11T06:12:19Z-
dc.date.available2019-04-11T06:12:19Z-
dc.date.issued2018-03-16en_US
dc.identifier.govdocG01N027/26en_US
dc.identifier.govdocG01N021/62en_US
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/151460-
dc.description.abstract一種氣體感測器的製作方法,包含一準備步驟、一感測單元形成步驟,及一金屬層形成步驟。該準備步驟是準備一導電基板。該感測單元形成步驟是在該導電基板上形成一感測單元。該金屬層形成步驟是以蒸鍍法在該感測單元上形成一層連續且厚度足以自行產生多個感測孔洞的金屬層,而讓該感測單元的表面自該等感測孔洞露出。zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.title氣體感測器的製作方法zh_TW
dc.typePatentsen_US
dc.citation.patentcountryTWNen_US
dc.citation.patentnumber201809652en_US
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  1. 201809652.pdf

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