標題: 二維材料的製作方法
作者: 侯拓宏
黃俊宏
公開日期: 16-Oct-2018
摘要: 本發明二維材料的製作方法包含以下步驟:於基板上形成具有至少一二維材料元素之薄膜;於薄膜上形成至少一包覆層;於包覆層形成後將薄膜進行退火,以形成二維材料膜。
官方說明文件#: H01L027/13
H01L021/324
URI: http://hdl.handle.net/11536/151490
專利國: TWN
專利號碼: 201838160
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