標題: | 二維材料的製作方法 |
作者: | 侯拓宏 黃俊宏 |
公開日期: | 16-十月-2018 |
摘要: | 本發明二維材料的製作方法包含以下步驟:於基板上形成具有至少一二維材料元素之薄膜;於薄膜上形成至少一包覆層;於包覆層形成後將薄膜進行退火,以形成二維材料膜。 |
官方說明文件#: | H01L027/13 H01L021/324 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/151490 |
專利國: | TWN |
專利號碼: | 201838160 |
顯示於類別: | 專利資料 |
標題: | 二維材料的製作方法 |
作者: | 侯拓宏 黃俊宏 |
公開日期: | 16-十月-2018 |
摘要: | 本發明二維材料的製作方法包含以下步驟:於基板上形成具有至少一二維材料元素之薄膜;於薄膜上形成至少一包覆層;於包覆層形成後將薄膜進行退火,以形成二維材料膜。 |
官方說明文件#: | H01L027/13 H01L021/324 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/151490 |
專利國: | TWN |
專利號碼: | 201838160 |
顯示於類別: | 專利資料 |