具有混合式反射鏡結構的垂直共振腔面射型雷射

Abstract

一種具有混合式反射鏡結構的垂直共振腔面射型雷射，乃將介電質反射鏡與金屬反射鏡結合形成混合式反射鏡，藉由金屬本身高反射率與高導熱效果，大幅降低介電質反射鏡的使用對數，進而減少散熱途徑，增加散熱效果，同時，於金屬與介電質之間形成雙折射率的週期性光柵結構，可以增加雷射極化的穩定度，此外，週期性光柵結構可增加黏著金屬之接觸面積，因此其晶圓強度與穩定度可大幅提升。