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| Characteristics of IGZO TFT Prepared by Atmospheric Pressure Plasma Jet Using PE-ALD Al2O3 Gate Dielectric | 120 |
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| Characteristics of IGZO TFT Prepared by Atmospheric Pressure Plasma Jet Using PE-ALD Al2O3 Gate Dielectric | 0 | 0 | 0 | 1 | 1 | 4 | 1 |
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