標題: THE ELLIPSOMETRIC MEASUREMENTS ON SIO2 BY INTENSITY RATIO TECHNIQUE
作者: CHAO, YF
WEI, CS
LEE, WC
LIN, SC
交大名義發表
National Chiao Tung University
關鍵字: ELLIPSOMETRY;THIN FILM
公開日期: 1994
URI: http://hdl.handle.net/11536/20125
http://dx.doi.org/10.1117/12.186666
ISBN: 0-8194-1589-8
DOI: 10.1117/12.186666
期刊: POLARIZATION ANALYSIS AND MEASUREMENT II
Volume: 2265
起始頁: 171
結束頁: 180
顯示於類別:會議論文


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