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| Electrical Characteristics of n, p-In0.53Ga0.47As MOSCAPs With In Situ PEALD-AlN Interfacial Passivation Layer | 113 |
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| Electrical Characteristics of n, p-In0.53Ga0.47As MOSCAPs With In Situ PEALD-AlN Interfacial Passivation Layer | 1 | 0 | 1 | 0 | 5 | 0 | 0 |
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