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| Direct COSi2 thin-film formation with homogeneous nanograin-size distribution by oxide-mediated silicidation | 117 |
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| Direct COSi2 thin-film formation with homogeneous nanograin-size distribution by oxide-mediated silicidation | 0 | 1 | 1 | 0 | 6 | 5 | 0 |
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