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| Ultrathin zirconium silicate films deposited on Si(100) using Zr(O(i)-Pr)(2)(thd)(2), Si(O(t)-Bu)(2)(thd)(2), and nitric oxide | 104 |
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| Ultrathin zirconium silicate films deposited on Si(100) using Zr(O(i)-Pr)(2)(thd)(2), Si(O(t)-Bu)(2)(thd)(2), and nitric oxide | 0 | 0 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 |
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