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Metallo-organic chemical vapor deposition of tantalum carbide and tantalum nitride thin films from (BuCH)-Bu-t=Ta(CH2 Bu-t)(3) and (BuN)-Bu-t=Ta(CH2 Bu-t)(3). 111

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Metallo-organic chemical vapor deposition of tantalum carbide and tantalum nitride thin films from (BuCH)-Bu-t=Ta(CH2 Bu-t)(3) and (BuN)-Bu-t=Ta(CH2 Bu-t)(3). 0 0 0 0 0 1 0

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