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| Characteristics of TEOS polysilicon oxides: Improvement by CMP and high temperature RTA N-2/N2O annealing | 121 |
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| Characteristics of TEOS polysilicon oxides: Improvement by CMP and high temperature RTA N-2/N2O annealing | 1 | 1 | 1 | 1 | 0 | 8 | 0 |
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