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| FIELD INVERSION GENERATED IN THE CMOS DOUBLE-METAL PROCESS DUE TO PETEOS AND SOG INTERACTIONS | 118 |
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| FIELD INVERSION GENERATED IN THE CMOS DOUBLE-METAL PROCESS DUE TO PETEOS AND SOG INTERACTIONS | 0 | 0 | 1 | 0 | 1 | 2 | 1 |
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