橢圓儀與光譜儀在複晶矽厚度測量上之應用

Abstract

本文發展出利用橢圓儀與光儀測量複晶矽厚度的技術。對橢圓儀測量技術而言，利用 實驗得到的折射率，藉著計算機可以快地求出複晶矽的厚度與吸收係數。光譜儀測量 技術包括，Curve fi-tting與Extrena 兩種方法。四百埃以下的複晶矽，採用Curve fitting 法，其他的厚度，兩種方法都適用，可用以互相比較。