液相磊晶砷化鎵鋁薄膜及其特性

Abstract

本文討論利用液相磊晶長晶法成長各種鋁含量Ｎ型砷化鎵鋁（x＝0到A＝0.8）磊晶膜 。並利用研究各種不同鋁含量晶膜的特性。 我們並對x＝0.3Ｎ型砷化鎵鋁的薄膜磊晶成速率作較詳細的研究。吾人建立了一數值 模型來分析並考慮因石墨船推動所造成的現象。 在研究不同鋁含量砷化鎵鋁晶膜方面，吾人利用霍爾效應測量，電解質電場調制、電 子微量探測、光激螢光分析測試，Ｘ光繞射等方法分析其晶膜的品質及特性。 此外，吾人並利用Ｐ型砷化鎵晶片當基底長成一單一異質的紅光二極體，主要波長為 7450°Ａ，起始電壓1.44伏，崩潰電壓10-12伏、量子效率0.72％。