標題: 液相磊晶砷化鎵鋁薄膜及其特性
作者: 羅玉珍
LUO, YU-ZHEN
雷添福
潘犀靈
LEI, TIAN-FU
PAN, XI-LING
光電工程學系
關鍵字: 液相磊晶;砷化鎵鋁;晶膜;石墨船;霍爾效應;X 光繞射;電解質
公開日期: 1984
摘要: 本文討論利用液相磊晶長晶法成長各種鋁含量N型砷化鎵鋁(x=0到A=0.8)磊晶膜 。並利用研究各種不同鋁含量晶膜的特性。 我們並對x=0.3N型砷化鎵鋁的薄膜磊晶成速率作較詳細的研究。吾人建立了一數值 模型來分析並考慮因石墨船推動所造成的現象。 在研究不同鋁含量砷化鎵鋁晶膜方面,吾人利用霍爾效應測量,電解質電場調制、電 子微量探測、光激螢光分析測試,X光繞射等方法分析其晶膜的品質及特性。 此外,吾人並利用P型砷化鎵晶片當基底長成一單一異質的紅光二極體,主要波長為 7450°A,起始電壓1.44伏,崩潰電壓10-12伏、量子效率0.72%。
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT732123009
http://hdl.handle.net/11536/51929
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