非晶態矽氫薄膜之光電性質及太陽電池的試製

Abstract

本文內討論了利用自製電漿輔助式化學氣相鍍膜系統產製非晶態矽氫薄膜，共並對這 些自製薄膜樣品從事的測量工作，並且以其試製了一些應用的元件。 測量工作包含了未摻雜質樣員的吸收光譜、光導性，並據以求得所產製樣品之能隙約 為１．６４eV。同時對摻雜質樣品亦做了相同測量。摻雜質效果的測量中得知電子在 樣品中有效電洞大的活動能力。 以自製樣品配合自製之ITO 薄膜試製了部份太陽電池結構。量得之Voc 受到摻雜效率 不足的限制僅有0.19V 且輸出特性顯然是受輸出阻抗的限制。所得結果雖不理想但已 所得結果雖不理想但已大致掌握了改良的要點。