磷化鎵之歐姆接面

Abstract

本研究中討論了磷化鎵與金屬之接面特性。在P 型磷化鎵上覆種以兩種以鈀為主之金 屬結構，一種為鈀╱鋅╱鈀多層結構，以及另一種為鈀與鋅之同時蒸鍍，此二結構均 顯示良好之歐姆特性；另一方面，以純金屬鈀覆於n 型之磷化鎵上亦可獲得歐姆特性 。更值得注意的一點是，這種以鈀為主的系統即使在高溫（６５０℃左右）其金屬圖 形仍舊不會變形或收縮。因此對於磷化鎵日趨被重視並且使用於高溫元件方面相當具 有潛力。 在表面濃度為２到３×１０□□╱cm□之磷化鎵覆以鈀╱鋅╱鈀結構可獲得約６．９ ×１０□□Ω-cm□之特性電阻，此值為目前最低者。 此外，另也計論以鋁和鈦為主之磷化鎵接面，不過在本實驗中，這兩種結構均未出現 歐姆特性。