以改良型波域片干涉儀測量非球面

Abstract

在非球面測量上，很少有簡便的零次試驗方法來求得鏡面的形狀誤差。所以本文在不 用標準非球面的情形下，使用共光徑的波域片干涉儀，並以波的共軛理論與全像原理 來設計改良型波域片，產生特殊波的前來符合待測面。 本文中將以傅利葉光學的繞射理論來解釋波域的繞射特性、以及波域片干涉儀的干涉 原理。對於零次試驗，則以全像原理為基礎，用幾何光學的方法來推算改良型波域片 應有的條紋分佈，其次論及波域片與誤差影響，最後以實際的干涉結果來評估本方法 的實用性。