標題: 以化學氣相沈積法在模具鋼上被覆氮化鈦碳化鈦以及氧化鋁之研究
作者: 謝豐州
XIE, FENG-ZHOU
郭正次
GUO, ZHENG-CI
機械工程學系
關鍵字: 化學氣相沈積法;模具鋼;氮化鈦;碳化鈦;氧化鋁;優先指向;微硬度;磨耗速率;CVD;DIE-STEEL;TITANIUM-NITROGEN;TITANIUM-CARBIDE;ALUMINUM-OXIDE;HARDNESS;ABRASION-VELOCITY
公開日期: 1986
摘要: 本論文係利用化學氣相沈積法(CVD) ,以H2-N2 -Ticl4,H2-CH4-T icl4和H2-CO2-AlCl3等反應氣體系統在一大氣壓,和950-1060 ℃溫度下,在JIS-SKD11與SKD 61模具鋼母材上分別沈積氮化□,碳化□及氧化鋁 ,探討在模具鋼上沈積單層及多層被覆(包括有事先用無電鍍法鍍鈷及沒有鍍鈷兩種 )之附著性,鍍層表面結構,優先指向,微硬度以及抗磨耗率。 結果顯示:(1)影響被覆能否沈積在母材上的因素包括:母材之含碳量,母材有無 事先鍍鈷,以及母材與鍍層間熱膨脹係數之差異。(2)如果CVD 之成核在事先鍍上 的鈷晶表面,而非在母材本身時則鍍鈷將會改變氮化□,碳化□或氧化鋁鍍層之優先 指向,反之則不然。(3)熱處理對CVD 沈積之影響,是經由其對鍍層介面和中間層 身提高其含碳量和含鈷量。(4)氮化□及鈷可用來當做沈積碳化□及氧化鋁之中間 層。但是以鈷當做中間層易於改變母材及鍍層成分,因而略為減少鍍層之硬度。(5 )CVD 鍍層之磨耗速率取決於鍍層硬度、附著性、鍍層種類以及鍍層數目。
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT752489005
http://hdl.handle.net/11536/53076
顯示於類別:畢業論文