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dc.contributor.author陳介立en_US
dc.contributor.authorCHEN, JIE-LEen_US
dc.contributor.author蘇德欽en_US
dc.contributor.author黃遠東en_US
dc.date.accessioned2014-12-12T02:09:02Z-
dc.date.available2014-12-12T02:09:02Z-
dc.date.issued1991en_US
dc.identifier.urihttp://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT802124001en_US
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/55736-
dc.description.abstract本文提出一種光學技術,用來測量波片的相位延遲,更進一步,將結合此技術以及斐 索干涉儀進行微小位移的測量。本文的裝置是一種外差干涉的設計。在光學結構中, 我們採用高壓鋸齒波電訊號驅動電光調制器,用以製造互相垂直且具頻差的線性偏極 光束,達成外差檢測的目的。本論文,除了對四分之一波片之相位延遲進行檢測外, 並對光學面完成表面掃描測試,這種量測技術,所測得之相位延遲以及微小位移的光 程差,可達1nm 以下的精度。zh_TW
dc.language.isoen_USen_US
dc.subject電光zh_TW
dc.subject調制器zh_TW
dc.subject干涉儀zh_TW
dc.title使用電光調制器的改良式外差干涉儀zh_TW
dc.titleA modified heterodyne interferometer by using an E-O modulatoren_US
dc.typeThesisen_US
dc.contributor.department光電工程學系zh_TW
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