標題: 使用電光調制器的改良式外差干涉儀
A modified heterodyne interferometer by using an E-O modulator
作者: 陳介立
CHEN, JIE-LE
蘇德欽
黃遠東
光電工程學系
關鍵字: 電光;調制器;干涉儀
公開日期: 1991
摘要: 本文提出一種光學技術,用來測量波片的相位延遲,更進一步,將結合此技術以及斐 索干涉儀進行微小位移的測量。本文的裝置是一種外差干涉的設計。在光學結構中, 我們採用高壓鋸齒波電訊號驅動電光調制器,用以製造互相垂直且具頻差的線性偏極 光束,達成外差檢測的目的。本論文,除了對四分之一波片之相位延遲進行檢測外, 並對光學面完成表面掃描測試,這種量測技術,所測得之相位延遲以及微小位移的光 程差,可達1nm 以下的精度。
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT802124001
http://hdl.handle.net/11536/55736
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