Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | 簡順利 | en_US |
dc.contributor.author | JIAN, SHUN-LI | en_US |
dc.contributor.author | 謝正雄 | en_US |
dc.contributor.author | XIE, ZHENG-XIONG | en_US |
dc.date.accessioned | 2014-12-12T02:09:23Z | - |
dc.date.available | 2014-12-12T02:09:23Z | - |
dc.date.issued | 1991 | en_US |
dc.identifier.uri | http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT802429003 | en_US |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11536/56000 | - |
dc.description.abstract | 本文的目的在研製一種熱電阻型的氣體流量計,利用兩異方性蝕刻製作堅強的懸浮細 線,而其中熱阻絲則以半導體技術鍍上白金做為主動區。在本文中從元件結構的設計 ,到氣體的熱傳導關係,以及輸出信號的電訊分析均做了深入的研究。經過測試後, 我們所製作的元件長度可達600μm,在氣體流速10m/s 以下的範圍內均有響應。 | zh_TW |
dc.language.iso | zh_TW | en_US |
dc.subject | 熱傳導 | zh_TW |
dc.subject | 元件結構 | zh_TW |
dc.subject | 電訊分析 | zh_TW |
dc.title | 微加工氣體流量感測元件的研製 | zh_TW |
dc.title | Fabrication of micromachined gas flow sensors | en_US |
dc.type | Thesis | en_US |
dc.contributor.department | 電子物理系所 | zh_TW |
Appears in Collections: | Thesis |