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dc.contributor.author簡順利en_US
dc.contributor.authorJIAN, SHUN-LIen_US
dc.contributor.author謝正雄en_US
dc.contributor.authorXIE, ZHENG-XIONGen_US
dc.date.accessioned2014-12-12T02:09:23Z-
dc.date.available2014-12-12T02:09:23Z-
dc.date.issued1991en_US
dc.identifier.urihttp://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT802429003en_US
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/56000-
dc.description.abstract本文的目的在研製一種熱電阻型的氣體流量計,利用兩異方性蝕刻製作堅強的懸浮細
線,而其中熱阻絲則以半導體技術鍍上白金做為主動區。在本文中從元件結構的設計
,到氣體的熱傳導關係,以及輸出信號的電訊分析均做了深入的研究。經過測試後,
我們所製作的元件長度可達600μm,在氣體流速10m/s 以下的範圍內均有響應。
zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.subject熱傳導zh_TW
dc.subject元件結構zh_TW
dc.subject電訊分析zh_TW
dc.title微加工氣體流量感測元件的研製zh_TW
dc.titleFabrication of micromachined gas flow sensorsen_US
dc.typeThesisen_US
dc.contributor.department電子物理系所zh_TW
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