疊形結構及低溫氮氣預先退火製程在極大型積體電路上的應用

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DC 欄位	值	語言
dc.contributor.author	吳協霖	en_US
dc.contributor.author	李崇仁	en_US
dc.contributor.author	雷添福	en_US
dc.date.accessioned	2014-12-12T02:10:05Z	-
dc.date.available	2014-12-12T02:10:05Z	-
dc.date.issued	1991	en_US
dc.identifier.uri	http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT804430029	en_US
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11536/56482	-
dc.language.iso	en_US	en_US
dc.title	疊形結構及低溫氮氣預先退火製程在極大型積體電路上的應用	zh_TW
dc.title	A Stacked Structure and Low-Temperature N2 Pre-annealing Process for ULSI Applications	en_US
dc.type	Thesis	en_US
dc.contributor.department	電子研究所	zh_TW
顯示於類別：	畢業論文