鈦/矽系統在積體電路應用上之材料特性與製程技術

標題:	鈦/矽系統在積體電路應用上之材料特性與製程技術 Material Properties and Process Technologies of Ti/Si System Relevant to VLSI Applications
作者:	廖和仁陳茂傑電子研究所
公開日期:	1991
URI:	http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT804430031 http://hdl.handle.net/11536/56484
顯示於類別：	畢業論文