高能電子槍之設計

Abstract

本論文的主要目的是在設計及製造一支能夠產生電子束能量為10 keV的電子槍，以作 為本實驗室將來從事有關光電材料表面分析的工具。 電子槍之設計是根據電子光學之理論，而電子光學之理論即是將電子束通過空間中場 分佈區域之軌跡以幾何光學的方式表示。所以在本文中將簡單介紹電子光學的基礎理 論，並且利用其理論設計一支具有收斂角較小的電子槍。再根據設計之結構製成實件 並測其能是否達成設計時之要求。最後在結論時，將探討如何改進將可使電子槍的性 能更臻完善。