微熱電堆紅外線感測元件之模擬與分析

Abstract

本文的目的即在利用CMOS相容製程，並以異方蝕刻方式製作的懸浮板，研製矽微熱 電堆。元件熱電材質為複晶矽及鋁，結構設計為蜘蛛狀的放射結構，它是設計矽微 熱電堆的理想結構。文中從元件結構的設計，到元件熱傳分析，以及輸出信號的電 訊均做了深入的研究，並將理論模擬結果與其它熱電堆元件做比較。實驗主要是針 對製做此浮板結構所產生的殘餘應力現象，做定性的描述並藉三明治 (Si□N□/ SiO□/Si□N□)的結構補償應力。最後結論為欲使此元件未來製作成功必需注意的 設計法則。