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| 砷化鎵、磷化銦及磷化銦鎵在三氯化硼、六氟化硫與氬氣中的活性離子蝕刻 | 148 |
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| 砷化鎵、磷化銦及磷化銦鎵在三氯化硼、六氟化硫與氬氣中的活性離子蝕刻 | 1 | 1 | 0 | 0 | 0 | 2 | 1 |
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