利用超高真空化學氣相沈積系統成長矽與矽鍺超晶格及其在發光元件之應用

標題:	利用超高真空化學氣相沈積系統成長矽與矽鍺超晶格及其在發光元件之應用 characterization and light emission applications of Si and SiGe superlattices grown by ultrahigh vacuum chemical vapor deposition
作者:	張鼎張 Zhang, Ding Zhang 張俊彥 Zhang, Jun Yan 電子研究所
公開日期:	1993
URI:	http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT822430006 http://hdl.handle.net/11536/58518
顯示於類別：	畢業論文