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| Low-Temperature (≦700℃) Fabrication of Interpolysilicon Oxide and Its Impact on Tunnel Oxide | 112 |
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| Low-Temperature (≦700℃) Fabrication of Interpolysilicon Oxide and Its Impact on Tunnel Oxide | 0 | 1 | 0 | 2 | 4 | 0 | 1 |
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