新竹科學工業園區空氣污染物排放總量推估及ISCST3擴散模式應用

Abstract

新竹科學工業園區位於新竹市東南隅及新竹縣寶山鄉一帶，區內以積體電路產業及光電產業為主，製程中會產生大量的無機酸鹼、揮發性有機物、燃燒氣體等有害廢氣。對於無機酸的煙道檢測，環檢所公告數個標準檢測方法，但科學園區排放範園經常低於標準方法的偵測下限，造成排放總量推估上的困難，僅管如此，仍有部份工廠使用較佳的檢測方法進行煙道檢測，由這些部份工廠的煙道檢測數據，我們可以求得排放係數及排放削減率，進而推估全新竹科學工業園區之排放總量，並將推估結果輸入ISCST3擴散模式中模擬，並與實測聖濃度比較，並進一步尋找園區容易發生濃度高的區域。研究結果顯示，科學園區污染物排放以氟化氫氣體、氯化氫氣體、氨、硫酸液滴及VOC為主，每年排放量分別為10.90噸、10.28噸、20.73噸、7.80噸及69.04噸。在模式單日模擬結果方面，模式模擬濃度與實測濃度相差25~40%，另外，模式全年模式模擬結果顯示，無論是最大日平均濃度的模擬，或是年平均濃度的模擬，園區在二期(西邊)及三期(東南)都是容易發生高濃度的區域。