以化學改質方式提升無塵室化學濾材之氨氣去除效率研究

Abstract

我國的半導體與光電產業在世界中佔有舉足輕重之地位，而在其無塵室環境中大多使用化學濾材去除空降分子污染物(Airborne Molecular Contaminants, AMCs)，以提昇產品良率，但目前常見的化學陶瓷濾材仍需仰賴國外進口，因此如何自製可利用於無塵室中之陶瓷濾材是一個重要課題。本研究主要目的為將濾材進行改質前處理，以增加藥劑塗敷量，並達到延長使用時間與提高去除效率之目的，同時進行氨氣進流濃度、藥劑塗敷濃度與風速對氨氣去除效率之影響。 □ 研究結果顯示經過酸液前處理改質程序後的陶瓷濾材及活性碳濾材能有效增加塗敷藥劑的吸附量，因此其氨氣去除效率與飽和吸附量均較未經過處理之陶瓷濾材高。此外研究結果發現進流濃度越低則去除效率越低，而商用報告中為了加速實驗之進行，常以高氨氣進流濃度而非典型之無塵室低氨氣濃度來進行測試，因此本研究建議在參考商業報告之測試結果時需注意其環境測試條件。此外若增加塗敷藥劑濃度可有效增加其在低濃度下之去除效率，本研究所自製之陶瓷濾材在低氨氣進流濃度下已可有與商用濾材相當之處理效率。