缺陷對氮化物藍光二極體光電特性之影響

Abstract

本論文主要是研究氮化物藍光二極體的缺陷和其光電特性。我們會探討熱回火對金屬接觸在氮化鎵二極體上的效應，也會觀察貫穿式差排（threading dislocation）對氮化鎵二極體的影響，並對這兩者間的相互關係進行討論。在金屬接觸的實驗上，我們使用了鎳-金系和氧化銦鎵系金屬作為p型的透明接觸層。在經過不同溫度的熱回火處理之後，我們會量測元件的光電特性，例如特徵性接觸電阻、電流-電壓性質，電致激發光譜和光致激發光譜等等。在微觀結構分析方面，藉由穿透式電子顯微鏡、掃苗式電子顯微鏡的影像與能量散佈光譜，我們可以清楚的觀察到缺陷與差排的存在與形態。因此我們將進一步的討論差排對氮化鎵二極體的影響。