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低介電常數奈米孔洞二氧化矽薄膜的乾式蝕刻特性研究 | 122 |
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低介電常數奈米孔洞二氧化矽薄膜的乾式蝕刻特性研究 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
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