TCP9400SE電漿蝕刻機台阻抗匹配網路的初始值設定

Abstract

利用科林研發(LAM)公司所生產之TCP9400SE電漿蝕刻機台上感應耦合線圈兩端的電壓及電流探針以及監控程式，線上偵測製程資訊及流經感應線圈之電壓和電流，並利用所量得之資料與回歸模型及類神經等方法，建立反應負載之阻抗與製程參數之間、達成阻抗匹配時匹配網路之可變電容的位置與負載阻抗之間的模型。建立完成之模型可以根據不同的製程輸入，預測阻抗匹配網路中可變電容達成匹配之位置，電容位置之預測誤差小於6%，不同製程輸入下反應負載阻抗的模型預測誤差實部小於10%，虛部小於1%。利用模型預測之可變電容位置當作匹配網路控制器之初始設定，當電漿輸入功率低於約350W時，可使用模型預測值當作電容初始設定值，從實驗結果可知的確提高了阻抗匹配網路匹配的速度，有效降低反射功率；但當電漿輸入功率高於約350W時，由於初始設定值與最後達到阻抗匹配位置尚有一段距離，因此阻抗匹配速度沒有明顯改善，電容初始設定值須在18000以上，才能提高阻抗匹配網路匹配的速度，有效降低反射功率。