半導體廠自動化設備控制界面程式模組化建構之研究

標題:	半導體廠自動化設備控制界面程式模組化建構之研究 The Construction of a Modularized Machine and Monitoring Emulater for a Wafer Fab
作者:	彭德保 PERNG DER-BAAU 交通大學工業工程與管理系
關鍵字:	自動化設備控制界面程式;模組化;結構化方法;Automatic equipment control interface;Modularized;Structured methodology
公開日期:	2000
官方說明文件#:	NSC89-2212-E009-028
URI:	http://hdl.handle.net/11536/89311 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=513735&docId=93107
顯示於類別：	研究計畫

文件中的檔案：

若為 zip 檔案，請下載檔案解壓縮後，用瀏覽器開啟資料夾中的 index.html 瀏覽全文。