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dc.contributor.author徐文祥en_US
dc.contributor.authorHSU WENSYANGen_US
dc.date.accessioned2014-12-13T10:30:07Z-
dc.date.available2014-12-13T10:30:07Z-
dc.date.issued2005en_US
dc.identifier.govdocNSC94-2212-E009-016zh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/89976-
dc.identifier.urihttps://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1129122&docId=215080en_US
dc.description.abstract透過添加奈米粒子所製作的奈米複材,由於是由兩種或兩種以上性質不同 的物質組合而成,常可以彌補單一材料的缺點,產生原來材料所不具備的 新特性。本研究群目前已成功將奈米鑽石粒子加入鎳電鍍液中製作鎳-鑽奈 米複材,並應用在電熱式微致動器,我們發現鎳-鑽石奈米複合材料相較於 純鎳金屬,在相同的位移輸出下可減少73%的輸入功率,熱膨脹係數並會 隨著鑽石奈米粒子濃度而增加,並會提高硬度及楊式係數對密度比,故除 了熱致動器外,應也適合應用在需要高頻振動之元件,本計畫即是想驗證 此一想法,並將進一步研究添加不同種類奈米粒子,在不同粒徑與不同濃 度下,對電鍍鎳-奈米複材機械特性的影響。另將製作共振式微機電元件, 包含懸臂樑及靜電式梳狀致動器,以量測所製作鎳奈米複材共振元件之共 振頻率變化,並進而希望確認鎳奈米複材所製作的元件在長時間操作下之 可靠度。zh_TW
dc.description.sponsorship行政院國家科學委員會zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.subject奈米粒子zh_TW
dc.subject金屬式微加工zh_TW
dc.subject機械性質zh_TW
dc.subject梳狀致動器zh_TW
dc.title含奈米粒子之金屬微元件的製程及機械特性研究zh_TW
dc.titleFabrication and Characterization of Metal-Based Microstructures with Nano Particlesen_US
dc.typePlanen_US
dc.contributor.department交通大學機械工程系zh_TW
顯示於類別:研究計畫


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  1. 942212E009016.PDF

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