標題: | 利用連續波雷射結晶法製作低溫複晶矽薄膜電晶體之製程開發及其在面板系統整合上之應用-總計畫:利用連續波雷射結晶法製作低溫複晶矽薄膜電晶體之製程開發及其在面板系統整合上之應用(II) Process Development of The LTPS TFT Fabricated by Using CW-Laser Crystallization and Its Application on System on Panel (II) |
作者: | 鄭晃忠 CHENG HUANG-CHUNG 交通大學電子工程系 |
公開日期: | 2005 |
官方說明文件#: | NSC94-2218-E009-028 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/90368 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1146191&docId=220063 |
Appears in Collections: | Research Plans |