應用資料挖礦於晶圓廠機台派工及搬運派車整合策略之研究(I)

Abstract

本研究嘗試對過去」分別」探討的晶圓廠之機台派工及搬運派車問題，作一」整合性」的研究。 研究以兩階段實驗進行。第一階段為針對機台的加工特性及派車的限制，提出可行的派工及派車 模式，並利用實驗設計及模擬實驗，評估較佳的派工及派車組合；第二階段為根據第一階段之模擬數 據，藉資料挖礦的決策樹歸納技術，分析動態環境下的派工及派車模式，企圖發展一套合適於動態環 境的整合式機台派工與搬運派車策略(Integrated Strategy of Machine and Vehicle Dispatching；IMVD)。 本研究首先藉由文獻回顧收集並分析生產機台之加工特性，將生產機台區分為三大類：(1)瓶頸機 台—黃光機台、(2)非瓶頸/集批機台—爐管、蝕刻機台、(3)非瓶頸/非集批機台—其他機台，並針對各 類機台的特性及限制提出派工優序，包括黃光機台的光罩排程、關鍵層綁機派工；爐管及蝕刻機台的 集批及等候時限等。在搬運系統方面，由於300mm 晶圓廠的搬運系統將interbay 與intrabay 軌道直接 連接整合，因此衍生複雜的交通控制及派車問題，在考量避免機台死鎖(dead lock)的情況下，提出可 行的搬運車運作及派車模式。 然而半導體製造程序複雜，影響派工及派車的變數極多，往往無法從所收集的龐大資料中，有效 地評估出導致指派不佳或有效指派的原因。因此進一步藉由資料挖礦技術，對現存的大量資料轉換成 有用的資訊，以擷取出合適於動態環境下的整合性法則。