飛秒雷射加熱薄膜過程中雷射光與熱波傳播速度對薄膜熱傳之影響

Abstract

本計畫擬針對飛秒雷射加熱薄膜過程，在有限值之雷射光傳輸速度與熱 波速度下各參數的影響進行研究，計畫將分為兩部份：直接解與薄膜熱物理 參數逆運算。在直接解的部份，計畫中將以兩溫度方程式及雙相延遲模式模 擬薄膜加熱過程的溫度分佈，對於兩種熱傳模式的雷射熱源項，透過解出暫 態輻射傳遞方程式之輻射強度分佈，將雷射光在介質中的有限值傳遞速度其 效應列入考慮，計畫中將詳細探討雷射光傳播速度、雷射脈衝長度、電子聲 子連結因子、溫度場與熱通量場延遲時間/熱波速度等參數對整個加熱過程 的交互影響。在薄膜物理參數逆運算部份，計畫中將以文獻上的實驗數據， 配合第一部份直接解的數值分析，以非線性最小平方法求出薄膜的熱傳導係 數與電子聲子連結因子隨薄膜厚度的變化關係。