標題: 奈米解析度記錄媒體及其他應用之包覆合金碳奈米結構陣列,其製造、機械/熱性質及製程特徵之研究---子計畫三:奈米結構沉積製程與積體電路製程之整合(III)
作者: 潘扶民
PAN FU-MING
交通大學材料科學與工程系
公開日期: 2005
官方說明文件#: NSC94-2120-M009-008
URI: http://hdl.handle.net/11536/90500
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1112924&docId=211063
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