應用於無線感測網路之超低耗能無線微感測模組的設計與製作-子計畫三：智慧型微感測元件之研究

Abstract

本計畫為整合型計畫中的子計畫三—智慧型微感測元件之研究，負責在超低耗能 無線微型感測模組中對於微感測器的設計與製作。本計畫分三年執行以微機電技術設計 製作完成一個光學式氣體感測器或一個創新型門檻式加速規，其執行摘要分三年如下所 示： 第一年計畫摘要： 第一年的計畫中預計完成兩項工作，一方面是設計之微結構使用模擬軟體驗證，主 要針對元件（微致動器、微鏡面及相關微結構）的操作原理與優缺點，對我們的設計加 以模擬並分析並討論本身設計的可行性，並實際進行製程設計及光罩送件，嘗試光學式 氣體量測與新型加速規等個別元件之製作。第二方面則是利用現有之非微機電光學濾 波、電子與機械元件，組裝驗證所設計光學式氣體感測架構，成為微小化光學式氣體量 測之基準。 第二年計畫摘要： 在第二年中必需藉由第一年各子計畫整合而得之規格，配合模擬與驗證、設計出低 驅動電壓與低損耗功率的光學及加速規元件，並以微機電製程技術陸續完成各項元件並 對個別元件進行功能測試，利用完成後之元件逐一取代第一年中的所架設的之系統並進 行功能驗證。最後藉由與各子計畫之討論，以進行後續設計與製程修正。 第三年計畫摘要： 第三年的工作則是進行整體系統的整合工作，將完成之各項微機電感測元件、訊號 處理模組、電力系統等利用覆晶封裝的技術組裝完成智慧型微感測系統晶片，並進行 系統特性分析，如果有需要，我們可以根據微感測元件之需要進行規格與設計修正。