一種固氣分離器配合離子層析儀作成的酸鹼氣體及微粒的半連續性監測器(I)

Abstract

半導體產業使用大量的無機酸鹼液體，雖經填充洗滌塔處理廢氣，但因部份污染物 的去除效率不佳，仍有大量的酸鹼氣體及微粒排放，造成環境污染問題，需要改善。使 用濾紙或固氣分離器的人工採樣方法，無法作目前濃度變動大的排放管道檢測，因此國 內對於可以作高濃度酸鹼氣體及微粒監測的半連續自動監測器有很大的需求。酸性氣體 及氣膠一直是大氣污染重要的研究課題，目前雖有巿售的?類微粒的半連續自動監測 器，但是並無巿售的相關酸鹼氣體污染物半連續自動監測器，且對於適用於煙道檢測的 高濃度監測器則?有任何的文獻發表，因此十分值得我們研究開發。目前對於文獻上的 酸鹼氣體監測器主要需改善的問題是反應及歸零時間過長的問題，需要進一步縮短。另 外氣體吸收效率及操作條件，吸收平板材質與表面可潤濕性的關係也需要進一步研究。 本研究結合靜電除塵器、平板分離器及離子層析儀，作出半連續自動酸鹼氣體及微 粒的監測器，並研究提高各種氣體污染物的吸收效率的操作條件。監測氣體污染物時， 本糸統不使用濾紙過濾微粒，而使用靜電除塵器先去除微粒後，再測量酸鹼氣體濃度， 以避免濾紙上的微粒揮發而導致相關氣體濃度被高估的現象。監測微粒及氣體污染物的 總濃度時，本監測器使用加在分離器平板兩側的電場來沈降微粒。本研究計畫擬進行二 年，先期以理論分析、分離器的設計及實驗的測試為主，後期會在大氣環境及煙道中與 其他人工採樣器作現場的比對研究。