光碟製程設備智慧型診斷與維修保養系統之發展---子計畫三：前段(母版模具)製程設備即時監控系統發展(I)

Abstract

隨著國內製造業的逐漸升級，電子化整合製造是工廠趨向高效能操作管理的重要發展 趨勢，當工廠進入量產以後，提昇製造良率對於量產為主之製造系統如IC、LCD、或光碟片 等3C 產業至為重要，而光碟母版製造技術是決定光碟片功能特性的核心技術，各光碟製造 廠常將其列為機密資料保護，並投入相當多的經費進行技術開發，但在目前在光碟前段製 程中因光儲存媒體容量的不斷增加，對於光碟母版的品質要求也當對的嚴苛；因此導致光 碟母版的不良率總是偏高，而光碟母版的製造成本更是佔了光碟片成本的一大部分。 為了解決光碟母版生產良率的問題，並進一步增進光碟母版品質，透過先進製程監控 可以早期的預知診斷可能發生的製程異常偏離，並進一步的調整製程機台參數，使得製程 機台回歸正常狀態，藉由此一機制不僅可以將製程控制在更穩定的狀態下，更可以正確的 掌握機台停機維修時間、減少因無預警停機而造成的在製品損失、有效提高人力運用效率、 減少產品品質變異、提升製程與設備有效操作率。